整机尺寸

1000mm×900mm×1400mm

水槽尺寸

620mm×400mm×150mm

有效扫描范围

500mm×280mm×120mm

最大扫描速度

800mm/s

图像推荐分辨率

1～4000um

定位精度

X/Y≤±0.5μm，Z≤±5μm

重复定位精度

X/Y≤±0.01mm，Z≤±0.02mm

标准块测量误差

测量机械加工的标准块，在软件进行强度校准的前提下，超声检测多次测量误差在±1%。

工件测量误差

选取TO系列、SOT系列、SOP等系列工件，采用同一处方且检测量程不变的情况下分别调整增益22dB、26dB、30dB进行检测，三次检测结果钎着率差值在±1%以内。

厚度测量范围

Epoxy材料：        Cu材料：

0.5 ~ 2mm（50MHz探头）                0.5   ~ 1.4mm（25MHz探头）

1.0 ~ 4.0mm（15MHz探头）               1.2 ~   3.7mm（15MHz探头）

注：根据客户工件的材料和厚度选配探头

缺陷识别能力

在测量系统厚度能力范围内，被测材料声速在标准材料声速±5%以内的情况下，且超声入射表面为平面的被测产品的水平方向的结合缺陷的识别能力为0.15毫米（15MHz、25MHz探头）和0.07毫米（50MHz探头）。

标准块测量误差

测量机械加工的标准块，在软件进行强度校准的前提下，超声检测多次测量误差在±1%。

工件测量误差

超声检测和影像仪检测对比

等距取10个以上检测点，90%点的误差在±0.05mm内。

超声检测重复测量

取10个检测点，重复测量3次，90%点的误差在±0.05mm内。

厚度测量范围

复合片

金刚石材料：              硬质合金材料：

0.3 ~ 3mm（50MHz-75MHz探头）；   0.8 ~ 6mm（50MHz-75Mhz探头）

石油片

金刚石材料：

0.3 ~ 3mm（50MHz探头）

注：根据客户工件的材料和厚度选配探头

缺陷识别能力

在测量系统厚度能力范围内，被测材料声速在标准材料声速±5%以内的情况下，且超声入射表面为平面的被测产品的水平方向的结合缺陷的识别能力为0.15毫米（50MHz探头）。

标准块测量误差

测量机械加工的标准块，在软件进行强度校准的前提下，超声检测多次测量误差在±1%。

工件测量误差

指定的钎焊水冷板重复扫描至少五次，评估每次扫描钎着率波动范围小于5%

厚度测量范围

Al材料：

0.6 ~ 20mm（10MHz-50MHz探头）

注：根据客户工件的材料和厚度选配探头

缺陷识别能力

在测量系统厚度能力范围内，被测材料声速在标准材料声速±5%以内的情况下，且超声入射表面为平面的被测产品的水平方向的结合缺陷的识别能力为0.3毫米（25MHz探头）。

标准块测量误差

测量机械加工的标准块，在软件进行强度校准的前提下，超声检测多次测量误差在±1%。

工件测量误差

选取合金银触点工件，采用同一处方且检测量程不变的情况下分别调整增益22dB、26dB、30dB进行检测，三次检测结果钎着率差值在±1%以内。

厚度测量范围

Ag材料：                                   Cu材料：

0.3 ~ 1.5mm（25MHz探头）               0.5 ~   1.4mm（25MHz探头）

1.0 ~ 4.0mm（15MHz探头）               1.2 ~   3.7mm（15MHz探头）

注：根据客户工件的材料和厚度选配探头

缺陷识别能力

在测量系统厚度能力范围内，被测材料声速在标准材料声速±5%以内的情况下，且超声入射表面为平面的被测产品的水平方向的结合缺陷的识别能力为0.15毫米（15MHz、25MHz探头）和0.22毫米（10MHz探头）。